SEMI-e看点速览｜广明源172nm MINI实验模组首秀亮相

6月(yuè)4-6日，广明源将参展2025 SEMI-e 中国（深圳）国际半导体(bàndǎotǐ)展览会，诚邀行业伙伴莅临14号馆14G22展位，现场交流172nm准分子光科技在半导体制造中的创新应用，共探制程(zhìchéng)优化新路径(lùjìng)。 172nm MINI实验(shíyàn)模组 新品首发 本次展会，广明源将首发推出自主研发的新品——172nm MINI实验模组。该产品专为半导体(bàndǎotǐ)工艺研发、制程验证及(jí)小批量试产环节设计，具备结构精简、成本可控、桌面(zhuōmiàn)即放即用、便携灵活等特点，适配多种实验环境(huánjìng)与制程需求。 172nm 深(shēn)紫外黑科技 可高效分解晶圆(jīngyuán)表面有机残留(cánliú)，提升洁净度与附着性能，为封装、清洗等工艺提供稳定前处理方案。 极简结构，桌面级准分子实验(shíyàn)新体验 由于传统准分子光辐照器因(qìyīn)高纯度 N₂填充结构复杂，难以实现桌面级灵活实验。广明源创新推出紧凑台式准分子光照射器——172nm MINI实验模组，机身(jīshēn)仅相当于书本(shūběn)大小，采用高集成轻量化设计，打破空间与成本壁垒，助力高校、企业及研究机构轻松(qīngsōng)搭建准分子光实验环境，满足平板显示光清洗(qīngxǐ)、塑料表面改性等多领域研发(yánfā)需求。 封装(fēngzhuāng)工艺表面清洁处理 超净化(jìnghuà)超微细清洗工艺验证 172nm 系列全线亮相(liàngxiàng)共襄盛会 除新品发布外，广明源还将展出多款172nm准分子系列光源与模组产品，覆盖晶圆清洗、半导体基材表面活化、超纯水TOC降解等(děng)多个关键工艺环节，为(wèi)制程优化与设备(shèbèi)升级提供更多选择。 172nm准分子(zhǔnfènzǐ)系列光源 172nm准分子系列模组及设备(shèbèi) SEMI-e 2025 ，诚邀(chéngyāo)莅临 欢迎半导体(bàndǎotǐ)制造企业、设备厂商、工艺研发工程师及行业伙伴莅临参观交流(jiāoliú)，现场了解172nm准分子光科技在半导体制造领域的多元应用，共同探讨合作(hézuò)机会。 2025 SEMI-e 中国（深圳）国际半导体展览会(zhǎnlǎnhuì) 时间(shíjiān)：2025年6月4-6日 地点：深圳(shēnzhèn)国际会展中心14号馆 （本文来源：日照新闻网。本网转发此(cǐ)文章(wénzhāng)，旨在为读者提供更多信息资讯，所涉内容不构成投资、消费建议。对文章事实有疑问，请与(yǔ)有关方核实或与本网联系。文章观点非本网观点，仅供读者参考。）